真空泵是一(yi)(yi)個量(liang)大(da)面廣(guang)的(de)產品，產量(liang)很大(da)，產值不(bu)(bu)高，但它確(que)實是一(yi)(yi)個直接影響(xiang)到真空成套設備性(xing)能質(zhi)量(liang)的(de)必不(bu)(bu)可少的(de)基礎產品。真空泵從高/超真空到粗/低真空，其產品大(da)致(zhi)可分14大(da)類(lei)：

　　高/超真(zhen)空——低(di)溫泵、分子泵、濺射離子泵、鈦升華泵、擴散(san)泵。

　　中真空——干泵(beng)(beng)、雙級旋片泵(beng)(beng)、羅茨(ci)泵(beng)(beng)、油增壓泵(beng)(beng)、水蒸氣噴射泵(beng)(beng)。

　　粗/低真(zhen)空——單級旋片泵、滑閥(fa)泵、液環泵、往(wang)復式(shi)真(zhen)空泵。

　　真空泵(beng)的(de)市場根(gen)據用戶的(de)需(xu)要而發生(sheng)動態變化。市場增(zeng)長的(de)主要驅動力來自于半導體工業的(de)迅速發展以(yi)及干泵(beng)和(he)分子泵(beng)應用領域的(de)日益擴大。

　　目前，全(quan)球真(zhen)空泵市場的年(nian)(nian)銷售(shou)額約20億(yi)美元(yuan)，年(nian)(nian)增長率(lv)在7%左右(you)。

　　我(wo)國(guo)(guo)(guo)(guo)生產(chan)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵(beng)的(de)(de)廠家很多，全部真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵(beng)的(de)(de)年銷售額大(da)(da)約在1.5億元左右，僅相當于美國(guo)(guo)(guo)(guo)Kinney公司一(yi)家真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵(beng)的(de)(de)年銷售額。通過(guo)對全球真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵(beng)市場的(de)(de)分析我(wo)們可以看(kan)出(chu)，各類真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵(beng)的(de)(de)市場及應(ying)(ying)用(yong)領域(yu)都在不斷變化和(he)發展。我(wo)國(guo)(guo)(guo)(guo)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵(beng)制造業(ye)(ye)有(you)著悠久的(de)(de)歷史和(he)雄厚的(de)(de)基礎，國(guo)(guo)(guo)(guo)產(chan)真(zhen)(zhen)泵(beng)已經在各個不同領域(yu)得到應(ying)(ying)用(yong)并經過(guo)驗證，有(you)些泵(beng)還出(chu)口國(guo)(guo)(guo)(guo)外，得到國(guo)(guo)(guo)(guo)外用(yong)戶的(de)(de)認(ren)可并受到好評(ping)，應(ying)(ying)該(gai)說我(wo)國(guo)(guo)(guo)(guo)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵(beng)制造業(ye)(ye)在國(guo)(guo)(guo)(guo)內(nei)外市場仍然有(you)著巨大(da)(da)的(de)(de)發展空(kong)(kong)(kong)間。

　　1.液環泵

　　雖然液(ye)(ye)環(huan)泵(beng)屬(shu)于(yu)粗真空泵(beng)，但在我(wo)國(guo)的(de)(de)石油、化工(gong)、電力(li)、輕紡、造紙、醫藥等(deng)領域仍然有著很大的(de)(de)市(shi)場。在國(guo)外，液(ye)(ye)環(huan)泵(beng)的(de)(de)銷(xiao)售額占全部真空泵(beng)市(shi)場的(de)(de)14%，僅次于(yu)干泵(beng)，所以Nash、Seimems和Kinney等(deng)公司都在我(wo)國(guo)投(tou)資建(jian)廠(chang)或建(jian)立銷(xiao)售網絡，不斷擴大在我(wo)國(guo)的(de)(de)市(shi)場份額。由于(yu)液(ye)(ye)環(huan)泵(beng)大部分(fen)是(shi)鑄(zhu)件，加工(gong)要求也不高，屬(shu)勞動密(mi)集型(xing)產品(pin)，所以國(guo)產液(ye)(ye)環(huan)泵(beng)在價格上(shang)有競爭優勢，關鍵(jian)是(shi)要改(gai)進設計，縮小體積，減(jian)輕重(zhong)量，提高效率，降低能耗。

　　2.滑閥泵

　　由于滑閥(fa)(fa)泵(beng)(beng)比較(jiao)耐用、可靠(kao)，國內外各種真(zhen)(zhen)空(kong)爐、鍍膜機以及干燥、浸漬(zi)等(deng)設備都是(shi)用滑閥(fa)(fa)泵(beng)(beng)作為前級泵(beng)(beng)，但是(shi)滑閥(fa)(fa)泵(beng)(beng)鑄件重，加工(gong)工(gong)作量(liang)較(jiao)大，所(suo)以國外各真(zhen)(zhen)空(kong)廠都在中國尋找合作伙伴。為了使國產滑閥(fa)(fa)泵(beng)(beng)能夠進入國際市(shi)場(chang)，必須進一步降低泵(beng)(beng)的振動噪聲(sheng)，杜(du)絕(jue)噴油和漏油，提高滑閥(fa)(fa)泵(beng)(beng)長期運(yun)行的可靠(kao)性。

　　3.直聯旋(xuan)片泵

　　隨(sui)著真(zhen)空技術在(zai)各個應(ying)用領域(yu)的不斷擴大(da)，直聯旋片泵的需求量越(yue)來越(yue)大(da)。由于這種(zhong)泵數量很(hen)(hen)多，加工裝(zhuang)配工作量很(hen)(hen)大(da)，價格又很(hen)(hen)低，所(suo)以有的國外(wai)真(zhen)空廠商在(zai)中國建(jian)立專業廠。國產中小型直聯旋片泵在(zai)技術上(shang)已經過關，價格又遠(yuan)比國外(wai)的泵便(bian)宜，所(suo)以國產泵仍然(ran)有競爭優勢。

　　4.羅茨泵

　　從國外(wai)羅(luo)茨泵(beng)(beng)生產(chan)情況來看(kan)，國外(wai)幾家(jia)大公司，如Leybold、Balzers、Alcatell、Edwards和ULVAC，他們(men)各家(jia)羅(luo)茨泵(beng)(beng)的銷售額(e)占全球羅(luo)茨泵(beng)(beng)銷售額(e)的比(bi)例都沒超過5%，這5家(jia)總計才(cai)20%，羅(luo)茨泵(beng)(beng)產(chan)量不大，但(dan)國外(wai)羅(luo)茨泵(beng)(beng)的價(jia)格遠比(bi)國產(chan)泵(beng)(beng)要高得多。

　　目前(qian)，國(guo)(guo)內(nei)外幾乎所有(you)大(da)型或小型的(de)(de)(de)高(gao)真(zhen)空(kong)(kong)和(he)(he)中真(zhen)空(kong)(kong)系統，為了縮短抽氣(qi)(qi)時(shi)間、提高(gao)生產效率都(dou)配有(you)羅(luo)(luo)茨泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)，所以(yi)國(guo)(guo)產羅(luo)(luo)茨泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)一(yi)定要(yao)在(zai)占領國(guo)(guo)內(nei)市(shi)場基礎(chu)上設法進(jin)入國(guo)(guo)際市(shi)場，這(zhe)樣就必須進(jin)一(yi)步(bu)降低(di)國(guo)(guo)產羅(luo)(luo)茨泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)的(de)(de)(de)振動噪聲，徹(che)底解決軸封(feng)漏油問題，改進(jin)泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)的(de)(de)(de)外觀(guan)質(zhi)量，提高(gao)泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)內(nei)的(de)(de)(de)光潔度(du)和(he)(he)清潔度(du)。另外，還要(yao)考慮(lv)到(dao)有(you)些國(guo)(guo)家和(he)(he)地區(qu)的(de)(de)(de)電源頻率為60Hz，更(geng)要(yao)確保(bao)羅(luo)(luo)茨泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)在(zai)提高(gao)轉速的(de)(de)(de)情況下長期(qi)運行的(de)(de)(de)可(ke)靠(kao)性。目前(qian)，國(guo)(guo)內(nei)氣(qi)(qi)冷(leng)(leng)式(shi)直(zhi)排(pai)大(da)氣(qi)(qi)羅(luo)(luo)茨泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)進(jin)展很快，技術上已經成熟(shu)。由于(yu)這(zhe)種泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)在(zai)排(pai)氣(qi)(qi)口的(de)(de)(de)下面裝有(you)氣(qi)(qi)體(ti)冷(leng)(leng)卻(que)器，其中一(yi)部分(fen)被冷(leng)(leng)卻(que)的(de)(de)(de)氣(qi)(qi)體(ti)通過管道(dao)返回泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)腔以(yi)冷(leng)(leng)卻(que)轉子(zi)，從(cong)而使壓縮熱得(de)平衡，所以(yi)這(zhe)種泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)可(ke)以(yi)直(zhi)排(pai)大(da)氣(qi)(qi)。為了滿足不(bu)同極(ji)限真(zhen)空(kong)(kong)度(du)的(de)(de)(de)要(yao)求，這(zhe)種泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)可(ke)以(yi)串聯(lian)使用，一(yi)般(ban)前(qian)面加一(yi)臺(tai)氣(qi)(qi)冷(leng)(leng)式(shi)直(zhi)排(pai)大(da)氣(qi)(qi)羅(luo)(luo)茨泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)，所達到(dao)的(de)(de)(de)極(ji)限真(zhen)空(kong)(kong)要(yao)比前(qian)級泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)高(gao)一(yi)個(ge)數量級。這(zhe)種泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)由于(yu)在(zai)泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)腔內(nei)沒(mei)有(you)工(gong)作介質(zhi)，實際上也是屬(shu)于(yu)干泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)。目前(qian)，這(zhe)種氣(qi)(qi)冷(leng)(leng)式(shi)直(zhi)排(pai)大(da)氣(qi)(qi)羅(luo)(luo)茨泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)及機組已經在(zai)石油、化工(gong)、塑(su)料、農藥、汽(qi)輪機轉子(zi)動平衡、航空(kong)(kong)航天空(kong)(kong)間模擬等(deng)裝置上得(de)到(dao)了長期(qi)運行的(de)(de)(de)考驗(yan)，所以(yi)應(ying)該在(zai)國(guo)(guo)內(nei)大(da)力推(tui)廣和(he)(he)應(ying)用。

　　5.分子泵

　　分(fen)子泵(beng)在國外半(ban)導體領域里的(de)許多工藝(yi)場(chang)合是用來代替低溫泵(beng)，尤其(qi)是濺射、刻蝕和LCVD等裝置(zhi)都彩復合分(fen)子泵(beng)和牽引(yin)泵(beng)作為主泵(beng)。

　　由于分(fen)(fen)子(zi)泵(beng)對水蒸氣(qi)的(de)抽速(su)僅為同(tong)口徑(jing)低(di)(di)溫(wen)泵(beng)抽速(su)的(de)四(si)分(fen)(fen)之(zhi)(zhi)一，所(suo)以分(fen)(fen)子(zi)泵(beng)的(de)排氣(qi)時間(jian)比低(di)(di)溫(wen)泵(beng)長。為了(le)(le)提高(gao)抽速(su)，國外(wai)在分(fen)(fen)子(zi)泵(beng)的(de)入口側裝一個-130℃~-150℃的(de)低(di)(di)溫(wen)冷板，稱之(zhi)(zhi)為低(di)(di)溫(wen)分(fen)(fen)子(zi)泵(beng)，水蒸汽被低(di)(di)溫(wen)板捕獲(huo)，其(qi)他(ta)氣(qi)體(ti)則由分(fen)(fen)子(zi)泵(beng)抽走。這(zhe)種低(di)(di)溫(wen)分(fen)(fen)子(zi)泵(beng)在真(zhen)(zhen)空鍍(du)膜(mo)裝置上(shang)應用，既提高(gao)了(le)(le)生產(chan)(chan)效率又(you)改(gai)善了(le)(le)膜(mo)層質量(liang)。隨著我國半導體(ti)工業(ye)、薄膜(mo)產(chan)(chan)業(ye)和科學研(yan)究事業(ye)迅速(su)發(fa)(fa)展(zhan)，分(fen)(fen)子(zi)泵(beng)應該是我國真(zhen)(zhen)空泵(beng)制造業(ye)發(fa)(fa)展(zhan)的(de)重點。首先，分(fen)(fen)子(zi)泵(beng)要從(cong)小到大建立完整系列(lie)，并研(yan)究開發(fa)(fa)各種復合分(fen)(fen)子(zi)泵(beng)、牽引泵(beng)和低(di)(di)溫(wen)分(fen)(fen)子(zi)泵(beng)，以滿足不(bu)同(tong)場合的(de)需要。

　　6.干泵

　　國外干泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)市場的(de)(de)(de)(de)不(bu)斷增(zeng)長(chang)，其主要驅動(dong)來自(zi)于半(ban)導(dao)(dao)體(ti)行業、化學工業、薄膜產業的(de)(de)(de)(de)迅(xun)速發(fa)展。在日本，半(ban)導(dao)(dao)體(ti)行業已全部用(yong)干式(shi)(shi)(shi)真(zhen)(zhen)空(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)代(dai)替(ti)油封式(shi)(shi)(shi)機(ji)械(xie)泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)，歐美(mei)半(ban)導(dao)(dao)體(ti)行業45%以上(shang)用(yong)干式(shi)(shi)(shi)真(zhen)(zhen)空(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)代(dai)替(ti)了(le)油封式(shi)(shi)(shi)機(ji)械(xie)泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)，大(da)(da)大(da)(da)提高了(le)產品的(de)(de)(de)(de)性(xing)能(neng)和(he)質量。為了(le)滿足(zu)不(bu)同(tong)(tong)應(ying)用(yong)領域和(he)不(bu)同(tong)(tong)工況的(de)(de)(de)(de)要求，國外有多(duo)級(ji)羅茨真(zhen)(zhen)空(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)、多(duo)級(ji)爪式(shi)(shi)(shi)真(zhen)(zhen)空(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)、螺桿式(shi)(shi)(shi)真(zhen)(zhen)空(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)、渦旋式(shi)(shi)(shi)真(zhen)(zhen)空(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)、往復式(shi)(shi)(shi)活塞真(zhen)(zhen)空(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)以及(ji)渦輪式(shi)(shi)(shi)無(wu)油真(zhen)(zhen)空(kong)泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)等(deng)。極限壓(ya)力從(cong)10Pa～10-2Pa，抽(chou)速從(cong)20m3/h～500m3/h。據統(tong)計，目前國產干泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)的(de)(de)(de)(de)應(ying)用(yong)還不(bu)足(zu)1%，國內半(ban)導(dao)(dao)體(ti)工業用(yong)的(de)(de)(de)(de)干泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)全部從(cong)國外進口(kou)，其價格十分昂貴。所以，我國應(ying)大(da)(da)力研究開發(fa)干泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)，使干泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)成(cheng)為我國真(zhen)(zhen)空(kong)工業新的(de)(de)(de)(de)經濟增(zeng)長(chang)點(dian)。